SP 系列

產品介紹

貝達先進材料提供的SP/SD系列精拋墊，透過廠內、外實驗室和客戶的認証，獲得極大肯定採用。 產品適用於最終鏡面拋光階段，標準使用於各種III-V化合物半導體材料、金屬、硬碟製造等。

產品特性

本產品具有獨特的拋光特性，表層聚氨酯微孔隙結構及底層特殊基材所組合而成的獨特複合材特性，提供更快磨合的全面平坦性；而表層絕佳的研磨液流動性，有助於提高工件表面潔淨度、降低表面粗糙度、以及降低橘皮/微刮傷等缺陷。

SD1750A多孔隙開放架構，提供拋光液絕佳之流動性，特別適合鋁合金及各類金屬拋光。	SP1845A-EP本產品特殊之表面壓紋設計，能有效均勻的輸送拋光液至拋光墊的不同區堿，適用於最終鏡面拋光製程。