粗抛光垫 贝达先进材料提供的SC、SU及SH系列产品,是专为粗、中抛用途所开发。因不同之基材与树酯组合,而产生不同特性的粗抛光垫。本产品可应用于各种III-V化合物半导体材料、IC制造、金属、石英、玻璃、光罩与硬盘等材料之抛光。
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