本 PTA (Polishing Template Assembly) 是为取代有腊抛光制程,提供较佳之平坦度与上下工件之方便性所设计。本产品可用于晶圆片、玻璃、光学组件、金属等等各种材料工件之抛光。
本PTA产品除可抛光各种标准尺寸之晶圆材料外,更可依客户之需求,制造抛光不同厚薄与形状之工件所需之PTA。本产品之FR4与Backing材料,可针对客户使用上之严峻需求,做适当之调整,以提升抛光表现与使用寿命。