SC/SU/SH 系列

產品介紹

貝達先進材料提供的SC、SU及SH系列產品,是專為粗、中拋用途所開發。因不同之基材與樹酯組合,而產生不同特性的粗拋光墊。本產品可應用於各種III-V化合物半導體材料、IC製造、金屬、石英、玻璃、光罩與硬碟等材料之拋光。

產品特性

本產品因特殊之微孔結構,對研磨液具備良好之保持性,同時因研磨墊具有適度之剛性,加上良好之研磨再現性,可提升製程之穩定性與尺寸精密度。本產品具有高移除率、高平坦性、低缺陷性與高性價比等優勢。

SU1300 本產品為結合硬質與軟質研磨墊之優點,能兼顧平坦度與均勻度。

 

SH1380A本產品之特殊結構設計,能在研磨期間達到高品質之平坦化結果

 

SC1535D具有高移除率、高平坦性、低缺陷性與高性價比等優勢。