SC/SU/SH 系列

產品介紹

贝达先进材料提供的SC、SU及SH系列产品，是专为粗、中抛用途所开发。因不同之基材与树酯组合，而产生不同特性的粗抛光垫。本产品可应用于各种III-V化合物半导体材料、IC制造、金属、石英、玻璃、光罩与硬盘等材料之抛光。

產品特性

本产品因特殊之微孔结构，对研磨液具备良好之保持性，同时因研磨垫具有适度之刚性，加上良好之研磨再现性，可提升制程之稳定性与尺寸精密度。本产品具有高移除率、高平坦性、低缺陷性与高性价比等优势。

SU1300本产品为结合硬质与软质研磨垫之优点，能兼顾平坦度与均匀度。	SH1380A本产品之特殊结构设计，能在研磨期间达到高质量之平坦化结果
SC1535D具有高移除率、高平坦性、低缺陷性与高性价比等优势。